Физические основы микротехнологии
Броудай, Ивор
Физические основы микротехнологии / Ивор Броудай; съавт. Дж. Мерей; ред. А. В. Шальнов.. - : Мир, 1985. - 496 с. 23 см
Предметни рубрики: Полупроводникова електроника ; Микроелектроника ;
621.382 +
Физические основы микротехнологии / Ивор Броудай; съавт. Дж. Мерей; ред. А. В. Шальнов.. - : Мир, 1985. - 496 с. 23 см
Предметни рубрики: Полупроводникова електроника ; Микроелектроника ;